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全自动激光划片机

设备名称：全自动激光划片机（柔性片）

产品材料：砷化镓+金属

晶圆尺寸：φ150mm、φ100mm

产品精度：±0.001mm

加工精度：±0.005mm

加工内容：（1）全切：从晶圆片上切割出晶粒，如右图1；

（2）半切：切断晶圆片槽底的金属电极层，临时衬底保留。

（注：单片晶圆上的晶粒形态、排布、数量等信息待提供）


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全自动激光划片机
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